Plattform für produktive Laserprozesse
Die Konfiguration einer Laseranlage wird immer durch die Applikation bestimmt. Beginnend mit der Prozessentwicklung und der Wahl einer geeigneten Stahlquelle lassen sich Anlagen konzipieren, die im Produktionsalltag überzeugen.
Schneiden eines Keramiksubstrats: Anpassung von Strahlquelle und Optik für besonders sensible Bearbeitungsaufgaben.
Um laserbasierte Bearbeitungsverfahren an die Herausforderungen moderner Produktionsbedingungen anzupassen, empfehlen sich modulare Plattformkonzepte, mit denen die Lasersysteme individuell an die jeweilige Fertigungsaufgabe angepasst werden können – als Stand-alone-Maschine oder für die Inline-Integration. Das Lasersystem ›ILS-LT‹ von InnoLas Solutions aus Krailling eignet sich für die hochpräzise Mikro-Materialbearbeitung in der Elektronik-, Halbleiter- und Photovoltaikindustrie sowie in der Feinwerktechnik.
Die Applikation bestimmt zunächst die Wahl der geeigneten Laserstrahlquelle in Bezug auf die Pulsdauer (µs- bis fs-Laserpulse), den Strahlmodus (CW oder QCW) oder den Spektralbereich (266 nm bis 10600 nm). In den Laser- und Optikbereich der Maschine können bis zu zwei auch unterschiedliche Strahlquellen integriert werden. Die Laser werden über gekapselte Strahlengänge zu den Bearbeitungsköpfen im Prozessraum im Mittelteil der Maschine abgelenkt. Automatische Strahlweichen lassen den Betrieb einer Laserquelle mit zwei verschiedenen Prozessköpfen zu. Diese Strahlweichen werden über die Bediensoftware der Maschine angesteuert. Optische Elemente (DOEs) zur Strahlformung ermöglichen die Anpassung des Laserstrahlprofils für die jeweilige Anwendung. So wird zum Beispiel für den selektiven Abtrag dünner Materialschichten von einem Substrat ein rechteckiges Flat-Top-Profil verwendet. Dadurch lässt sich ein homogener Energieeintrag in der abzutragenden Schicht erreichen, ohne dabei das darunterliegende Substrat zu schädigen.
Zwei Prozesse in einer Maschine
Je nach Bearbeitungsaufgabe werden Galvanometer-Scanner oder Festoptik-Prozessköpfe im Lasersystem verbaut. Möglich sind dabei auch zwei unterschiedliche Prozessköpfe in einer Maschine, beispielsweise ein Galvo-Scanner und eine Festoptik in Kombination. Auf diese Weise lassen sich in einer Maschine zwei unterschiedliche Verfahren wie das Mikrobohren und das Schneiden realisieren.
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Hersteller
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82152 Krailling
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