Kompromiss in Kombination
Reinraumanforderungen und Automatisierung müssen kein Antagonismus sein. Werden die Grundregeln zum Produzieren von Maschinen, Geräten und Komponenten eingehalten und die Prozesskette in ihrer Gesamtheit betrachtet, ist trotz Automatisierung eine reinheitsgerechte Produktionsumgebung realisierbar.
Beispiel für ein Minienvironment, das eng mit der Prozessautomation verknüpft ist
Um Automatisierungskonzepte erfolgreich zu gestalten, sollten die Reinraumbedingungen vom Design bis hin zur Implementierung im Fokus liegen. In fast allen Branchen, nicht nur in der Halbleiterindustrie, steigen die Anforderungen an die Produktreinheit. Diese wird von den folgenden Parametern beeinflusst:
• Mensch
• Prozess
• Equipment
• Prozessmedien
• Prozessumgebung/Reinraum.
Die größte Quelle für Kontaminationen und somit auch der größte Unsicherheitsfaktor für eine effiziente und gleichbleibend qualitativ hochwertige Produktion war bisher der Mensch. Dieser wird in der heutigen Fertigung mehr und mehr durch Automatisierungslösungen ersetzt.
Automatisierung und Minienvironments
Das SMIF-System (Standard Mechanical Interface) wurde in den 80er-Jahren eingeführt und stellte einen großen Schritt in Richtung Fab-Automation dar. Das Design basierte auf einer Box mit geringem Volumen, um Siliziumwafer in einer reinen, statischen Umgebung zu lagern und zu transportieren. Es sollte an die bestehende Halbleiterproduktion und an bestehende Maschinen angepasst sein. Ausgangspunkt war Reinheitsklasse 10 und besser (seit 2001 ISO 4).
Erstmals wurde der Mensch als Partikelquelle weitestgehend außen vor gelassen. Definierte Schnittstellenstandards waren die Basis, um unterschiedliche Automatisierungskonzepte aufeinander abzustimmen. Somit entstanden die ersten Minienvironments. Aus dem durch die Automatisierung optimierten Workflow konnte eine steigende Produktivität abgeleitet werden.
Durch die 300-mm-Technologien wurde aus der Option zur Automatisierung eine Pflicht. Vor allem Sematech (Semiconductor Manufacturing Technology) griff diese Spezifikationen in einer Reihe von Guidelines auf. Dabei wurde die Automatisierung immer in Kombination mit der benötigten Reinheitsanforderung betrachtet. Somit war die Frage nach einem Minienvironment untrennbar mit der Prozessautomatisierung verbunden.
[...]
Hersteller
Colandis GmbH
07768 Kahla
Tel. +49 36424 7694-0
Fax +49 36424 7694-11
www.colandis.com