UV Center of Excellence eröffnet
Hochqualitatives Laser-Lift-off Verfahren Quelle: Coherent
Industriereife Laserlösungen für Anwender. Coherent, Dieburg, und das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Aachen haben beim AKL‘22 – International Laser Technology Congress das ›UV Center of Excellence‹ eröffnet. Ziel ist es, UV-Laserprozesse zu entwickeln und deren Skalierung für die industrielle Fertigung voranzutreiben.
Seit vielen Jahren sind UV-Laser die Arbeitspferde der Mikro- und Nanostrukturierung. Mit ihnen wurden viele Generationen von Mikroprozessoren hergestellt und auch in der Fertigung von Displays spielen sie eine wichtige Rolle. Im Rahmen großer industrieller Anwendungen wurden insbesondere die kurzwelligen Excimer-Laser auf Höchstleistungen getrimmt und auf lange Standzeiten optimiert.
Damit sind die UV-Laser definitiv jedoch nicht am Ende. Denn einerseits erleben auch die UV-Festkörperlaser noch eine lebhafte technologische Entwicklung. Andererseits bieten die speziellen Fähigkeiten der UV-Technik enorme Vorteile für kommende Anwendungen im Bereich Cleantech. Zu diesen speziellen Fähigkeiten gehört die Nanometer-Auflösung bei der Materialbearbeitung ebenso wie das präzise und selektive Abtragen dünner Schichten.
Im UV Center of Excellence am Fraunhofer ILT in Aachen stellt der Projektpartner Coherent sein breites Portfolio von UV-Lasern für die Entwicklung hochpräziser industrieller Prozesse zur Verfügung. Zum Equipment gehören drei Excimerlaser (›LEAP‹, ›COMPex‹, ›ExciStar‹) mit bis zu 150 W Laserleistung bei 248 nm. Dazu kommen noch Festkörper-UV-Laser und Ultrakurzpulslaser (›HyperRapid‹, ›Paladin, Monaco‹) im UV-Bereich bei 266 nm und 345 nm.
Mit diesem Center stellen die Partner ihren Kunden industriereife Laserlösungen zur Verfügung, um neue Prozesse zu entwickeln, zu evaluieren und die Skalierung für die Serienfertigung vorzubereiten.