Kontaminationsfreier Transport im Vakuum

Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber notwendige Herausforderung. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gateventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung, das MAFU…

Automatisierte aktive Justage für optische Systeme

Das Spektrum der Montagelösungen erstreckt sich von manuellen Montageplätzen über hybride Montagestationen bis hin zu Montagevollautomaten. Besonders anspruchsvoll ist die aktive Justage optischer Komponenten, also die relative Ausrichtung von Komponenten…

Luftgelagertes 5-Achs-Positionierungssystem mit Nanometer-Genauigkeit

Das 5-Achs-Antriebssystem ist von JAT für hochpräzises Positionieren kundenspezifisch entwickelt.

Im Gegensatz zu einem klassisch gestapelten Achssystem sind die Achsen X und Y hier koplanar angeordnet, dabei ist die X-Achse als Gantry ausgeführt. Die…

CFK trifft Granit

Busch Microsystems aus Langenlonsheim setzt im Präzisionsmaschinenbau auf hybride Maschinenstrukturen: Während für die Basis Granit verwendet wird, werden hochdynamisch beanspruchte Baugruppen aus CFK realisiert. Diese Systeme kommen in ultrapräzisen Verfahren…