Piezo-Tisch mit hoher Positioniergenauigkeit
Der Qfocus QF-46 wird von Präzisionsflexuren geführt, die mit der finiten Elementanalyse optimiert wurden, um eine hohe Steifigkeit und eine lange Lebensdauer zu gewährleisten.
Gute Resonanzfrequenz. Der Piezo-Nanopositioniertisch Qfocus QF-46 des Nürnberger Unternehmens Aerotech ermöglicht Mikroskopobjektiv- und Optikpositionierungen bei hohen Geschwindigkeiten mit Nanometer-Präzision. Er ist in Ausführungen mit Closed-Loop-Verfahrwegen von 100 μm und 250 μm und Open-Loop-Verfahrwegen von 120 μm bis 300 μm erhältlich und eignet sich für anspruchsvolle optische Anwendungen, die eine hohe Präzision und einen Durchsatz mit langen Verfahrwegen erfordern. Die Konstruktion bietet eine hohe Steifigkeit und eine gute Resonanzfrequenz, wodurch ein hoher Prozessdurchsatz und eine schnelle Reaktion bei Closed-Loop ermöglicht werden. Darüber hinaus verfügt der QF-46 über eine Auflösung (0,30 nm beim Closed-Loop und 0,15 nm beim Open-Loop) und Positionsstabilität im Subnanometerbereich. Der QF-46 ist mit einer freien Apertur von bis zu 29 mm erhältlich. Kundenspezifische Tischausführungen, Verfahrwege und Gewindeadapter sind ebenfalls möglich.
Hersteller
Aerotech GmbH
90449 Nürnberg
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