Oberflächen von Wafern behandeln
Die ›Revolution‹-Plattform von Rena
Maschine zur Metallabreinigung und Foto-Resist-Stripping. Im Rahmen einer öffentlichen Ausschreibung des Forschungszentrums Silicon Austria Labs (SAL) in Villach, Österreich, hat das Unternehmen Rena Technologies aus Gütenbach seine ›Revolution‹-Plattform erfolgreich angeboten. Der Auftrag für die Neubeschaffung einer nasschemischen Handbank wurde zugunsten des Herstellers entschieden.
SAL ist ein Forschungszentrum für elektronikbasierte Systeme, die das technologische Rückgrat der Digitalisierung bilden. An den Standorten Graz, Villach und Linz wird auf den Feldern Microsystems, Sensor Systems, Power Electronics, Intelligent Wireless Systems und Embedded Systems an zukunftsweisenden Lösungen für Umweltschutz, Gesundheit, Energie, Mobilität und Sicherheit geforscht.
Die Revolution, eine Maschine zur semimanuellen, nasschemischen Bearbeitung von Halbleiterwafern, wird im Zuge des geförderten Projekts ›Politur – Plattform zur Oberflächenvorbereitung des direkten Waferbondens für neue Anwendungen in der integrierten Quantenphotonik und Telekommunikation‹ (KWF – Kärntner Wirtschaftsförderungs-Fonds) angeschafft.
Das Projekt fokussiert auf die Erweiterung der infrastrukturellen Ausstattung des Silicon-Austria- Labs Standorts in Villach um einerseits innovative Forschung und andererseits auch Kleinserienfertigung im Bereich Halbleiterverarbeitung und Mikrofabri - ka tion zu fördern. Der Hersteller übernimmt auch die Logistik und Installation vor Ort.
Für die mehrstufige Prozessabfolge
Die Plattform besteht grundsätzlich aus einem robusten integrierten zentralen Drehroboter und bis zu fünf Prozesstanks, die um den Roboter herum angeordnet sind. Der Hersteller empfiehlt die Revolution als platzsparende und kostengünstige Lösung für Anwendungen, die eine mehrstufige Prozessabfolge erfordern. Sie ermöglicht die Oberflächenbehandlung von Halbleiterwafern, einschließlich Ätzen, Reinigen und Strippen, sowohl bei FEoL- als auch BEoL- Anwendungen.
Hersteller:
RENA Technologies GmbH
D-78148 Gütenbach
Tel. +49 7723 9313-0