Schichtdickenmessung mit Reflektometer
Das spektroskopische Reflektometer ›ST2080‹ der Polytec GmbH aus Waldbronn zur Dickenmessung transparenter Schichten misst vor allem sogenannte OSP-Schichten (Organic Surface Protection) auf rauen Oberflächen wie zum Beispiel Kupferleiterbahnen. Die simultane Messung vieler Spots liefert als Ergebnis die durchschnittliche Schichtdicke sowie ein detailliertes 3D-Oberflächenprofil des jeweiligen, 135 nm großen Messflecks. Die minimale Spotgröße liegt je nach Objektiv bei 1,35 (5-fach-Objektiv) oder 0,135 μm (50-fach-Objektiv). Für die Messung ist keine Probenvorbereitung nötig. Aufgrund der einfachen Anwendung kann das neu entwickelte System auch in produktionsnahen Umgebungen eingesetzt werden. Die messbaren Schichtdicken liegen zwischen 35 nm und 3 μm, was die üblichen Schichtdicken von OSP-Beschichtungenvon 0,1 bis 0,5 μm weit übertrifft. Mit diesen Eigenschaften ist das ST2080 konventionellen Reflektometern überlegen, die wegen der Oberflächenrauheit der Kupferleiterbahnen oft ungenau messen. Die Alternativen – ionenstrahlbasierte Instrumente oder Analyse mittels sequenzieller elektrochemischer Reduktion – sind entweder ungeeignet, teuer oder sehr aufwendig. Entwickelt wurde das System von Polytecs koreanischem Partnerunternehmen K-MAC, Systemlieferant für die Halbleiterforschung und -industrie.