Komplexe Geometrien optisch vermessen
Die Fokusvariation hat sich für die Messung von Geometrien mit Strukturgrößen von einigen Millimetern bis in den µm-Bereich etabliert. Durch die Kombination mit Konfokal-Messsystemen, mit denen Topografien vertikal mit bis zu 2 nm aufgelöst werden, lässt sich das Einsatzfeld über die Fokusvariation hinaus erweitern.
Umfangreiche Werkzeuganalyse mit motorisierter Schwenk-Dreh-Vorrichtung.
Die Kombination aus Fokusvariation und Konfokaltechnik in einem Gerät bietet interessante Möglichkeiten, beispielsweise zur Messung von spiegelnden Oberflächen, wie sie an Kugeln eines Kugellagers zu finden sind, oder auch von Schneiden eines Werkzeugs mit kleinen Keilwinkeln. Für eine schnelle und umfangreiche Vermessung von Werkstücken oder Werkzeugen, an denen derartige Anforderungen auftreten, hat Confovis ein globales Koordinatensystem erstellt. Darin können Messdaten, die mit dem Konfokal-Messverfahren und der Fokusvariation gemessen wurden, zusammengesetzt werden.
Hochpräzise und umfangreiche Schneidkantenanalyse
Bei der Vermessung von Mikrowerkzeugen, zum Beispiel Gewindebohrern oder kleinen Fräswerkzeugen, nutzt der Anwender die Werkstückdrehachse in Verbindung mit dem globalen Koordinatensystem, um die relevanten Bereiche jeweils mit dem besten Messverfahren hochgenau und ohne Kompromisse zu vermessen.
Die erzielte Genauigkeit der optischen Messung geht über die mechanische Genauigkeit des Positioniertischs und der Schwenk-Dreh-Vorrichtung, die bereits im Bereich von besser 3 µm beziehungsweise 0,015 Grad liegt, hinaus. Die Messdaten werden aus der Software ›ConfoViz‹ mit ihrer Globalkoordinate in die merkmalsbasierte Auswertesoftware ›Polyworks‹ exportiert und anhand eines internen Rasters fein ausgerichtet und automatisch nachjustiert. Das Raster in Polyworks hat bei Messungen mit dem 50-fach-Objektiv einen lateralen Punkteabstand von 110 nm. So ist es erstmals möglich, mit Fokusvariation und dem konfokalen Verfahren in fünf Achsen zu messen und Ist-Daten aufzunehmen. Bei Werkzeugen mit komplexen Geometrien kann ein Soll-Ist-Vergleich vorgenommen und sogar die Ausprägung der Form, Asymmetrie und Fehlhöhe von Schneidkanten erfasst werden. Confovis stellt dem Kunden zusätzlich Makros zur Auswertung von Schneidkanten zur Verfügung. So erhält der Kunde maximale Transparenz über Absetzpunkte und Fit-Algorithmen, ohne diese selbst definieren zu müssen.
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Hersteller
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07745 Jena
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